[发明专利]致动器-传感器系统和具有这种致动器-传感器系统的快速转向镜(FSM)在审
| 申请号： | 202280017763.X | 申请日： | 2022-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN116941170A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 哈拉尔德·哈斯;赖因霍尔德·霍尼奇卡;托比亚斯·斯科普夫;古恩特·沙尔默瑟 | 申请（专利权）人： | 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 |
| 主分类号： | H02K29/12 | 分类号： | H02K29/12 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 许伟群;李少丹 |
| 地址： | 德国奥*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种致动器‑传感器系统，用于使得电磁辐射在至少一个轴(9)上受调控地偏转或转向，具有用于机械地移调偏转元件(10)的致动器(5)，以及具有用于检测所述偏转元件(10)的位置的测量元件(2)，其特征在于，所述测量元件(2)由平坦的基板(3)组成，该基板包括至少一个传感器元件(4)。此外，本发明涉及一种快速转向镜(FSM)。 | ||
| 搜索关键词： | 致动器 传感器 系统 具有 这种 快速 转向 fsm | ||
【主权项】：
暂无信息
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