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主分類
A 農業
B 作業;運輸
C 化學;冶金
D 紡織;造紙
E 固定建筑物
F 機械工程、照明、加熱
G 物理
H 電學
分類號
描述
H
電學
H01
基本電氣元件
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H01L
半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-00
專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
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H01L21-67
.專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
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H01L21-673
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H01L21-677
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